真空泄漏測試是測試密封部件的主要泄漏測試方法，這些部件可能會從外部來源泄漏到其外殼和外殼中。

       真空泄漏測試程序的主要部件包括：

　　在真空泄漏測試過程中，被測試的部件或容器(測試件)連接到壓力/真空管線并放置在測試室中。

       腔室關閉并密封，所有供氣閥關閉，測試件和腔室同時通過真空抽真空至預設壓力水平。

       一旦壓力穩定，測試件中的任何壓力變化都會與腔室參考體積中的壓力變化進行比較。

       如果測試件確實泄漏，則兩者之間的壓差會增加。該數據被測量和記錄。

　　真空泄漏檢測的功能與壓力衰減測試類似，但本質上是相反的。

       例如，在壓力衰減測試期間，測試室被加壓并且監測測試室的壓力降低表明從室到部件的泄漏。

        然而，在真空衰減中，被測試的部件被加壓，并且監測測試室的壓力增加表明從部件泄漏到室中。